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多晶矽生產中(zhōng)含氟廢酸液處理工藝

來源:本站日期:2023-01-09 03:05:38 瀏覽:1784
      在多晶矽生產過程(chéng)中(zhōng)會(huì)排放少量的(de)含氟廢酸液,對此(cǐ)類含氟廢酸液該如何處理呢?草莓丝瓜向日葵黄瓜榴莲污绿巨人小編今天給大家介紹一下多晶矽生產中含氟廢酸液處理工藝。
      一、多(duō)晶矽含氟廢酸液來(lái)源
      在多晶矽生產的矽料(liào)清洗(xǐ)工序,先用堿液除去(qù)矽料表麵的石英、金屬離子等,再使用39%氫氟酸和68%硝酸的混合液進行酸洗,後用去離(lí)子水衝洗浸泡(pào)至中性(xìng)。酸洗階段產生少量廢酸液,使用完的廢酸,濃度的降低基本可以(yǐ)忽略不計,氟(fú)離子含量(liàng)約5%。
      二、多晶矽含氟廢(fèi)水常規預處理工藝
      由於多晶矽含氟廢(fèi)水(shuǐ)處理該廢液酸性很強(qiáng),為避免對後端處理設備造成腐(fǔ)蝕,一般會調解PH值,然後向(xiàng)廢水中投加石灰乳或者電石渣,對廢水進行中和(hé),同時鈣離子與氟離子生成難溶物氟化鈣沉澱。
      三、多晶矽含氟廢水零排放(fàng)處理工藝
      預處理出水的主要鹽組分為硝酸鈣(gài),硝酸鈣質(zhì)量濃度10%以上,氟離(lí)子含量約10mg/L,pH高於7。將預處理後(hòu)的廢水蒸發濃縮至質量濃度70%左右,再冷卻至40℃以下,結晶生成四水硝酸鈣。
      四(sì)水物加熱到(dào)151℃完全(quán)脫水,加熱到(dào)495~500℃時,硝酸鈣分解放出氧並生成亞硝酸鈣,繼續加熱則分解成氧化鈣及(jí)氧化氮氣體。
      硝酸鈣為強(qiáng)氧化劑,屬於危險化學品。因(yīn)此該工藝產出的四水硝酸鈣應避免受(shòu)熱,並嚴禁與有機物、還原劑、磷和硫磺等接觸(chù)。
      硝酸鈣水溶液在不同壓(yā)力下的沸點不同,70%硝酸鈣溶液在常壓下的沸點為133℃,而在(zài)絕壓40kPa和(hé)25kPa下,其沸點分別下降到105℃和93℃。
      硝酸鈣溶液的蒸發器宜選用強製循環蒸發器,因(yīn)為強製循環蒸發器對高黏度、易生泡沫、易結垢、甚至有結(jié)晶(jīng)析出的溶液均適用,且(qiě)完成液的組成較容易恒(héng)定。蒸發器內(nèi)恒定的完成液組成對後續冷卻結晶係統的正常穩定運行起到至關(guān)重要的作用。
      根據硝酸鈣的水鹽體係,硝酸鈣溶液可以選擇采用冷(lěng)卻結晶係統,冷卻結晶產出的硝酸鈣產品可以作為肥料(liào)利用。
      四(sì)、多晶矽廢水處理尾(wěi)氣處理工藝
      對廢酸液處理過程中產(chǎn)生的廢氣處置工藝及設備選型,酸性廢氣可用堿性溶液進行吸收處(chù)理,常用(yòng)的吸收液。
      經堿液吸收後的(de)尾氣通過排氣筒(tǒng)高空排放,尾(wěi)氣中氮氧化物和氟化物排放濃度及排(pái)放速率滿足排放標準。室外高空(kōng)排放時應設避雷設施,采用(yòng)金屬排放裝置還應有可靠的接地措施。
      根據含氟廢酸液中和後的溶(róng)液組成及性質,選取合適的蒸發結晶工藝和操(cāo)作條件,以實現(xiàn)廢液的零排放。
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